| 名稱 | 品牌 | 型號 | 數量 | 能力 | 精度 |
|---|---|---|---|---|---|
| 無極臂 | CIM CORE | 7330 | 1 | ∮3000mm | ±0.075 |
| 花崗石檢驗平台 | JACOBVICOR | VK-5701 | 1 | 1,500 x 1,000 | ±5.0 µm |
| 高度規 | mitutoyo | 192-131 | 1 | 0 - 450mm | ±0.05mm |
| 百格刀 | AMPORE HOUSE | SISI-600 | 1 | ||
| 膜厚計 | KETT | LZ-900J | 1 | 0 ~1500µm | ±1µm under 50µm |
| 游標卡尺 | mitutoyo | 500-152-20 | 30 | 0 - 200mm | ±0.02mm |
| 角度規 | SHINWA | PROTRACTOR | 20 | 0° - 180° | ±0.5mm |
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